Barco voladizo LPCVDVentosa de vacío de cerámicaUtilizado principalmente para la preparación de películas delgadas en la industria fotovoltaica de semiconductores. Por ejemplo, el cargador y descargador de difusión, el barco voladizo es un componente clave del cargador de difusión y se utiliza principalmente para cargar y descargar obleas de silicio antes y después de la difusión.
Bote en voladizo o placa de carga y descarga con precisión, resistente al desgaste y a altas temperaturas. Estructura cerámica resistente. El brazo del robot suele estar formado por 50 ventosas y puede cargar y descargar 50 obleas de silicio a la vez. El barco voladizo con estructura cerámica tiene las ventajas de no deformarse, no contaminarse y es fácil de mantener. El barco en voladizo depende de la succión de la ventosa de vacío y del peso de la oblea de silicio para cargar y descargar las obleas de silicio con un aterrizaje suave, lo que puede reducir significativamente la tasa de fragmentación y los requisitos de precisión del vehículo. El error de una sola pieza de ventosa de vacío se puede controlar dentro de 0,005 mm y el error de apilamiento de 50 piezas no supera los 0,2 mm.
Se utilizan principalmente el barco de cuarzo LPCVD, el barco de cuarzo de difusión y el barco portador de circonio. Preparación de películas delgadas para la industria fotovoltaica de semiconductores. En el proceso LPCVD (deposición química de vapor a baja presión), el recipiente de cuarzo es el portador de la oblea de silicio en la cámara de reacción.
Cerámica MingruiProducidoBandeja de barco de cuarzo cerámico y ventosa se utilizan Precisión Los materiales cerámicos de circonio resistentes al desgaste y a las altas temperaturas se dividen actualmente principalmente en dos tipos de pasos: 4,76 y 2,38. El barco de cuarzo de circonio tiene alta resistencia y no es fácil de deformar, no contamina y no es fácil de deformar. Se adhiere al barco durante el proceso de difusión. Es más fácil de mantener que los barcos de cuarzo ordinarios. Vida más larga
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